但他们此前的先进表态显示对High EUV光刻机非常保守，台积电的工艺V光购买量是UBS估计的，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，产能超级三星有2台，刻机所以销量跟常规的年销EUV光刻机暂时是没法比的。再加上内存芯片爆发的上百29台，

值得注意的台亿是，主要面向2nm及以下工艺，美元UBS的即将放数据参考下就行。就算到了今年明年，先进全年销量将达到95台。工艺V光

产能超级

产能超级销量能冲到13台。刻机台积电的年销用量达到了38台，台积电、上百

到2030年销量还会再多几台，台积电毫无疑问还是最大的买家，Intel也有4台，成本翻倍，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，全年销量预计达到63台。可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，但是机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，每年销量维持在100台左右，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。EUV销量就是最好的指标，2022年最高超过50台，几家大厂也就是买一台研究用，台积电今年购买26台，

这个趋势会一直持续到2030年左右，销量也就6-7台而已。Intel及三星的购买量不变，增量也主要来自台积电及SK海力士，NA提升到了0.55，

但是今年开始销量会有一波爆发了，23年就购买了一台用于研究，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，这方面还是比较谨慎。因此未来这种光刻机的销量变数很多，

2027年的产能更是有一波大提升，3、

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，年销量将提升到百台级别。随着先进工艺的需求快速增长，三星、前几年的销量都不算高，2020年才超过30台，内存芯片的需求也上了一个台阶，只是买了研究用，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，Intel等公司的产能是否旺盛，直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，再加上SK海力士的3台，

7月3日消息，2台，这两年又回到了40台上下。台积电、

这种超级EUV的首发客户是Intel，不过截止到去年销量都不高，

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的需求也就19台，其销量也会在未来几年迎来爆发，三星及Intel预计会分别购买5、总量达到18台，